超快弱光测量实验室
- 高分辨光谱仪
- 100fs脉冲激光器
- 窄带宽连续激光器
- 高精度线性位移台
- 光-弹调制器
- 三维共聚焦系统
- 高空间分辨超快相干控制和克尔系统
- 双探针高空间分辨光学显微镜
- 共聚焦显微镜的集成系统
- 光致发光谱仪
- 横看成岭侧成峰
- 低温测试系统
精密电学测量实验室
- 高精度电学测试设备（半导体参数仪）
- 锁相放大器
- 低温光电测量插杆
- 半导体参数仪
- 库仑振荡测量
- 低温光电测量插杆
冷原子量子存储实验室
- 锁模连续激光器
- 超高真空原子腔
- 光学平台
半导体器件加工实验室
- 膜厚仪（台阶仪）
- 点焊机
- 镀膜机（气相沉积）
- 划片机
- 光刻机
- 显微镜
- 匀胶机（离心甩胶）
- 退火炉
- 原子力显微镜
- 点焊机
- 划片机
- 深紫外光刻机
微腔光子学实验室
- 氟化氙刻蚀机
- 二氧化碳激光回流装置
- 拉光纤锥系统
- 微腔测量系统
- 氟化氙刻蚀机
- 二氧化碳激光回流装置
- 拉光纤锥系统
- 微腔测量系统
